با سلام خدمت کاربران در صورتی که با خطای سیستم پرداخت بانکی مواجه شدید از طریق کارت به کارت (6037997535328901 بانک ملی ناصر خنجری ) مقاله خود را دریافت کنید (تا مشکل رفع گردد).
ردیف | عنوان | نوع |
---|---|---|
1 |
A Systematic Study on BEOL Defectivity Control for Future AI Application
یک مطالعه سیستماتیک در مورد کنترل نقص BEOL برای کاربرد هوش مصنوعی در آینده-2020 In this paper, a case study on control of
BEOL defectivity in a systematic way for the future AI
application is presented. A few novel methodologies
were introduced to identify the source of defectivity in
various BEOL sectors, such as, patterning, barrier
deposition, plating, and CMP. We successfully
reduced the defectivity to the level required to yield
target AI devices. Keywords: BEOL | defectivity control | AI application |
مقاله انگلیسی |